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                真空區域的劃分及前級真空泵的選擇
                更新時間:2011-12-26 點擊量:7096

                真空泵真空區域的劃分

                真空區域
                壓強范圍
                托(Torr)
                帕(Pa)
                低真空
                760~10
                101325~1333
                中真空
                10~10-3
                1333~1.33×10-1
                高真空
                10-3~10-8
                1.33×10-1~10-6
                超高真空
                10-8~10-12
                10-6~10-10
                *真空
                <10-12
                <10-10

                對于需要配前級泵的抽氣機組,主泵選完之后,重要的問題是如何選配合適的前級泵和預抽泵。選配前級泵的原則是:
                    (1)前級泵在主泵出口處造成的壓力應低于主泵的大排氣壓力
                    (2)前級泵應保證始終及時排出主泵所排出的氣體流量。
                    (3)兼作預抽泵的前級泵要滿足預抽時間及預抽真空度的要求。
                    根據主泵的工作特性不向,配泵可分為兩種情況:一種是主泵需要配前級泵,如擴散泵、分子泵等;另一種是主泵只需要配預抽真空泵,而不需要配前級泵,如各種吸附冷凝泵等。
                     主泵配前級泵計算時,需要前級泵在主泵出口處形成的壓力始終低于該泵的大排氣壓力,主真空泵才能正常工作。普通的油擴散泵的大排氣壓一般為26~40Pa左右;油增壓泵的大排氣壓力一般為130~260yPa左右。
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